半导体检测设备是贯穿芯片设计、晶圆制造、封装测试全流程的良率管控基础设施，是降低芯片生产损耗、保障产品合格率与长期可靠性的关键， 按测试领域可分为集成电路、分立器件、光电子芯片、传感器四类。基于电子系统故障检测“十倍法则”，半导体检测设备通过在早期发现并剔除缺陷，可降低 90%以上后续排障成本。随着5nm 及以下芯片制程演进与Chiplet先进封装普及，半导体测试环节的复杂度与专业性显著提高，检测设备需在精度、测试范围等指标上实现同步跃升。当前行业呈现“ 全球景气复苏+国产替代进程加速”格局，随着本土企业多品类产品在头部半导体产线成功实现产业化应用，未来国产替代进度有望进一步提速。
南方基金郑晓曦关注半导体产业链投资机遇。她管理的南方信息创新混合持仓聚焦科技自立自强，其2026年度一季报显示，其前十大重仓股中包括拓荆科技、北方华创、中微公司等拥有领先技术的国产半导体产业链龙头企业。另一只产品南方半导体产业股票则深耕半导体芯片产业，尤其是光刻机模块，其2026年度一季报显示，其前十大重仓股中包括奥普光电、茂莱光学等国产核心企业。
南方信息创新混合（A 类：007490/C 类：007491）
南方半导体产业股票发起（A 类：020553/C 类：020554）
